Пороги распыления при бомбардировке ионами различных мишеней

П. Ю. Бабенко, В. С. Михайлов, А. Н. Зиновьев

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Анализируются столкновительные модели, приводящие к объяснению положения энергетических порогов при распылении различных материалов. Совокупность имеющихся экспериментальных и расчетных данных удается описать в рамках модели, учитывающей многократные столкновения. Предлагается эмпирическая кривая для описания положения порогов во всем возможном диапазоне соотношений масс сталкивающихся частиц. Показано сильное влияние формы поверхностного потенциального барьера на положение энергетического порога распыления.

Ключевые слова: атомные столкновения, распыление, энергетический порог распыления, поверхностный потенциальный барьер.

Поступила в редакцию: 22.12.2023
Исправленный вариант: 20.02.2024
Принята в печать: 09.03.2024

DOI: 10.61011/PJTF.2024.12.58055.19851

Реферативные базы данных:

•