Эффект трансформации линейной зоны в виде квадрата при еe миграции через пластину кремния ориентации $\{100\}$

Б. М. Середин, В. П. Попов, А. В. Малибашев

Южно-Российский государственный политехнический университет им. М.И. Платова, Новочеркасск, Россия

Аннотация: Экспериментально обнаружен эффект трансформации линейной зоны в виде квадрата с ориентацией сторон вдоль направлений $\langle110\rangle$ при термомиграции через пластину кремния ориентации $\{100\}$. Эффект проявляется в синхронном сближении сторон квадрата и формировании замкнутого эпитаксиального канала пирамидальной формы. Такая трансформация зоны объясняется асимметрией фронта растворения жидкой зоны относительно заданного градиента температуры, особенностями растворения и кристаллизации в изгибах линейной зоны в углах квадрата.

Ключевые слова: термомиграция, градиент температуры, кремний, анизотропия.

Поступила в редакцию: 15.11.2023
Исправленный вариант: 16.12.2023
Принята в печать: 16.12.2023

DOI: 10.61011/PJTF.2024.07.57463.19805

Реферативные базы данных:

•