Аннотация:
Проведены исследования оптических, электрических и динамических характеристик разработанного кремниевого лавинного фотодиода с активной областью диаметром 350 $\mu$m. Показано, что разработанный лавинный фотодиод обладает следующей совокупностью характеристик: внешний квантовый выход 215 electrons/photon на длине волны 1064 nm, темновой ток 0.77 nA, коэффициент умножения 2353, фронт нарастания менее 350 ps при напряжении обратного смещения 274 V.