Анализ поверхностного слоя пленки платины, выращенной методом ионно-плазменного распыления на подложках Si (001) и MgO (001)

С. П. Зинченко^ab, В. Б. Широков^ab, А. В. Павленко^ab, Л. И. Киселева<sup>a

a</sup> Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
^b Южный федеральный университет, Ростов-на-Дону, Россия

Аннотация: Методом ионно-плазменного (катодного) распыления на постоянном токе на (001) срез монокристаллических подложек кремния и оксида магния нанесены пленки платины. Выполнены измерения угловой зависимости коэффициентов отражения оптических мод E- и H-поляризаций лазерного излучения с длиной волны 632.8 nm. Показано, что в пределах погрешности измерений недостаточно использовать обычные формулы отражения с оптическими параметрами платины, необходимо дополнительно ввести эффективный анизотропный слой, связанный с неоднородностью поверхности.

Ключевые слова: ионно-плазменное напыление, пленка платины, рельефная поверхность, эффективный слой.

Поступила в редакцию: 31.07.2023
Исправленный вариант: 13.09.2023
Принята в печать: 10.10.2023

DOI: 10.61011/PJTF.2024.01.56921.19696

Реферативные базы данных:

•