Особенности интерференционных явлений в пленках ZnO, полученных методом магнетронного осаждения

А. М. Исмаилов^a, А. Э. Муслимов<sup>b

a</sup> Дагестанский государственный университет, Махачкала, Россия
^b Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия

Аннотация: Исследованы процессы управляемого текстурирования пленок ZnO на $r$-плоскости Al$_2$O$_3$ с буферным слоем золота с учетом свободного потенциала при магнетронном осаждении и интерференционные явления в них. Показано, что в зависимости от положения подложки в объеме разряда могут формироваться как гладкие [001]-текстурированные, так и шероховатые битекстурированные пленки ZnO. Классическая интерференционная картина наблюдается только в гладких текстурированных пленках. Синтезированные прозрачные пленочные структуры на основе ZnO в перспективе могут быть использованы в качестве интерференционных сенсоров для оценки показателя преломления окружающей среды.

Ключевые слова: ZnO, магнетронное осаждение, интерференция, датчик показателя преломления.

Поступила в редакцию: 05.06.2023
Исправленный вариант: 07.09.2023
Принята в печать: 02.10.2023

DOI: 10.61011/PJTF.2024.01.56918.19647

Реферативные базы данных:

•