Влияние упругости паров диффузанта на концентрацию электроактивных атомов и степень компенсации образцов Si$\langle\text{Zn}\rangle$

М. К. Бахадырханов, Н. Ф. Зикриллаев, Э. У. Арзикулов

Реферативные базы данных:

•