RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал технической физики // Архив
Письма в ЖТФ, 1988, том 14, выпуск 24, страницы 2211–2214 (Mi pjtf2435)
Механизм поглощения мощности при СВЧ вакуумно-плазменной обработке структур микроэлектроники

Ю. В. Гуляев, Р. К. Яфаров




Реферативные базы данных:

© МИАН, 2026