Изменение концентрации центров прилипания и времени жизни неравновесных носителей в кремнии в процессе формирования внутреннего геттера. Постадийный неразрушающий контроль геттерирования

Д. Н. Гулидов, В. И. Думбров, В. А. Миляев, В. А. Никитин, А. В. Ширков, Б. Л. Эйдельман

Реферативные базы данных:

•