RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Физика и техника полупроводников
// Архив
Физика и техника полупроводников,
1987
, том 21,
выпуск 11,
страницы
2106–2109
(Mi phts973)
Краткие сообщения
Взаимодействие собственных точечных дефектов с примесными атомами фосфора в кремнии
$n$
-типа при электронном (импульсном) облучении
В. В. Емцев
,
Т. В. Машовец
,
А. Г. Абдусаттаров
Полный текст:
PDF файл (558 kB)
©
МИАН
, 2026