RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2010, том 44, выпуск 10, страницы 1382–1386 (Mi phts8953)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Низкоразмерные системы

Формирование композитных квантовых точек InGaN/ GaN/InAlN

А. Ф. Цацульниковab, Е. Е. Заваринab, Н. В. Крыжановскаяab, В. В. Лундинab, А. В. Сахаровab, С. О. Усовab, П. Н. Брунковa, В. В. Гончаровa, Н. А. Черкашинc, M. Hytchc

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур РАН, г. Санкт-Петербург
c Center for Material Elaboration & Structural Studies (CEMES) of the National Center for Scientific Research (CNRS), 31055 Toulouse, France

Аннотация: Представлены результаты исследований формирования композитных квантовых точек InGaN/GaN/InAlN. Исследованы структурные свойства тонких слоев InAlN, заращённых GaN, и показано формирование в таких структурах трехмерных островков, имеющих латеральные размеры $\sim$(20–30) нм. Показано, что осаждение тонкого слоя InGaN на поверхность островков InAlN, заращённых тонким слоем GaN, приводит к трансформации непрерывного слоя InGaN в массив изолированных квантовых точек, имеющих латеральные размеры 20–30 нм и высоту 2–3 нм, положение которых в направлении роста коррелирует с положением островков InAlN.

Поступила в редакцию: 13.04.2010
Принята в печать: 23.04.2010


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2010, 44:10, 1338–1341

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026