Аннотация:
Представлены результаты исследований формирования композитных квантовых точек InGaN/GaN/InAlN. Исследованы структурные свойства тонких слоев InAlN, заращённых GaN, и показано формирование в таких структурах трехмерных островков, имеющих латеральные размеры $\sim$(20–30) нм. Показано, что осаждение тонкого слоя InGaN на поверхность островков InAlN, заращённых тонким слоем GaN, приводит к трансформации непрерывного слоя InGaN в массив изолированных квантовых точек, имеющих латеральные размеры 20–30 нм и высоту 2–3 нм, положение которых в направлении роста коррелирует с положением островков InAlN.
Поступила в редакцию: 13.04.2010 Принята в печать: 23.04.2010