Аннотация:
В рамках феноменологической теории области пространственного заряда предложена быстрая схема вычисления поверхностной дифференциальной емкости полупроводниковой пленки в случае омического контакта на тыльной стороне. Метод расчета рассмотрен на примере полупроводника с параболическим законом дисперсии ($n$-Ge). Обнаружено не связанное с эффектами размерного квантования явление провала вольт-фарадной характеристики с уменьшением толщины полупроводника.
Поступила в редакцию: 23.03.2010 Принята в печать: 14.04.2010