RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2010, том 44, выпуск 6, страницы 767–774 (Mi phts8840)

Эта публикация цитируется в 7 статьях

Полупроводниковые структуры, границы раздела и поверхность

Природа прямых и обратных токов насыщения в контактах металл–полупроводник с барьером Шоттки

Н. А. Торхов

ОАО "Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов ", 634050 Томск, Россия

Аннотация: Сильная зависимость токов насыщения прямых и обратных вольт-амперных характеристик высокобарьерных ($>$ 0.6 В) контактов металл–полупроводник с барьером Шоттки от их диаметра $D$ определяется встроенным и сонаправленным с собственным электрическим полем контакта дополнительным электрическим полем, которое образуется под влиянием периферии контакта. Это поле препятствует движению электронов через контакт при подаче на него прямого смещения. Увеличение диаметра контактов от 5 до 700 мкм приводит к уменьшению различия прямых и обратных токов насыщения с пяти порядков практически до нуля. Увеличение диаметра контакта, таким образом, приводит к уменьшению влияния периферии и уменьшению абсолютного значения встроенного электрического поля. Уменьшение высоты барьера ($\le$ 0.6 В для $D$ = 5 мкм) также приводит практически к полному совпадению прямых и обратных токов насыщения. На обратных ветвях вольт-амперных характеристик влияние встроенного поля проявляется в значительном уменьшении эффективной высоты потенциального барьера вследствие уменьшения его ширины вблизи вершины и значительного увеличения полевой эмиссии электронов через барьер при более низких значениях энергии. На прямых ветвях это проявляется практически в полном отсутствии прямых токов при малых смещениях.

Поступила в редакцию: 20.10.2009
Принята в печать: 27.10.2009


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2010, 44:6, 737–744

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026