Аннотация:
Показано увеличение интенсивности фотолюминесценции и стабилизация свойств слоев нанопористого кремния, полученного методом электрохимического травления в водно-спиртовом растворе HF в присутствии ионов железа. Найдена оптимальная концентрация FeCl$_3$ в травящем растворе. Исследован процесс взаимодействия ионов железа с поверхностью кремния, характер и возможные продукты реакций, происходящих с участием кислорода и водорода.
Поступила в редакцию: 12.10.2009 Принята в печать: 19.10.2009