Эта публикация цитируется в 4 статьях

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Влияние энергетических параметров осаждаемого лазерно-инициированного потока атомов платины на характеристики тонкопленочной структуры Pt/$n$-6H-SiC

В. Ю. Фоминский, Р. И. Романов, А. Г. Гнедовец, В. В. Зуев, М. В. Демин

Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва

Аннотация: Проведены экспериментальные исследования особенностей формирования пленок платины на подложках $n$-6H-SiC при реализации различных способов импульсного лазерного осаждения. Осаждение проводилось как в вакууме традиционным способом, так и в инертной газовой среде с применением дискового экрана, устанавливаемого на оси разлета факела между лазерной мишенью и подложкой для защиты подложки от частиц микронных и субмикронных размеров. Разработана компьютерная модель такого процесса, которая позволяет прогнозировать распределение осаждаемой пленки по поверхности подложки, энергетические и угловые параметры атомарного потока при варьировании свойств лазерного факела, давления инертного газа и расположения экрана. Результаты моделирования использовались для объяснения электрических свойств тонкопленочных структур Pt/$n$-6H-SiC, полученных различными способами.

Поступила в редакцию: 02.09.2009
Принята в печать: 09.09.2009

 Англоязычная версия: Semiconductors, 2010, 44:4, 537–543

Реферативные базы данных:

•