Аннотация:
Изучалось протекание тока в омическом контакте In–$n$–4H-SiC ($n\approx$ 3 $\cdot$ 10$^{17}$ см$^{-3}$) на основании зависимости сопротивления контакта, приведенного к единице площади, от температуры. Установлено, что основным механизмом протекания тока является термоэлектронная эмиссия через барьер $\sim$0.1 эВ. При этом эффективная постоянная Ричардсона оказалась равной $\sim$2 $\cdot$ 10$^{-2}$ А/см$^2$$\cdot$ K.
Поступила в редакцию: 18.08.2009 Принята в печать: 07.09.2009