Эта публикация цитируется в 9 статьях

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Метод сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии структур на основе кремния

В. П. Кузнецов^a, З. Ф. Красильник<sup>b

a</sup> Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, г. Нижний Новгород
^b Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород

Аннотация: Анализируются возможности разных методов получения монокристаллических структур на основе кремния. Обсуждаются особенности и преимущества метода сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии.

Поступила в редакцию: 15.07.2009
Принята в печать: 24.08.2009

 Англоязычная версия: Semiconductors, 2010, 44:3, 396–400

Реферативные базы данных:

•