Аннотация:
Исследованы кремниевые диоды с $p^+$–$n$-переходом, облученные электронами энергией 3.5 МэВ, флюенсами от 10$^{15}$ до 4 $\cdot$ 10$^{16}$ см$^{-2}$. Установлено, что зависимость тангенса угла электрических потерь $\operatorname{tg}\delta$ от частоты $f$ переменного тока в интервале $f$ = 10$^2$–10$^6$ Гц является немонотонной функцией с двумя экстремумами: минимумом и максимумом. Трансформация зависимостей $\operatorname{tg}\delta(f)$ при увеличении флюенса облучения и увеличении температуры отжига диодов обусловлена изменением сопротивления $n$-Si (базовой области диодов), вызванным накоплением (при увеличении флюенса) или исчезновением и перестройкой (при отжиге) радиационных дефектов. Роль инерционности процесса перезарядки дефектов в формировании $\operatorname{tg}\delta(f)$ невелика.
Поступила в редакцию: 30.07.2009 Принята в печать: 20.08.2009