О. В. Анисимов, В. И. Гаман, Н. К. Максимова, Ю. П. Найден, В. А. Новиков, Е. Ю. Севастьянов, Ф. В. Рудов, Е. В. Черников, “Влияние золота на свойства сенсоров диоксида азота на основе тонких пленок WO$_3$”, Физика и техника полупроводников, 2010, том 44, выпуск 3,страницы 383

Эта публикация цитируется в 20 статьях

Физика полупроводниковых приборов

Влияние золота на свойства сенсоров диоксида азота на основе тонких пленок WO$_3$

О. В. Анисимов^a, В. И. Гаман^b, Н. К. Максимова^a, Ю. П. Найден^b, В. А. Новиков^b, Е. Ю. Севастьянов^a, Ф. В. Рудов^b, Е. В. Черников^a

^a Сибирский физико-технический институт им. акад. В. Д. Кузнецова при Томском государственном университете
^b Томский государственный университет, 634050 Томск, Россия

Аннотация: Исследованы микроструктура и свойства легированных золотом тонких пленок WO$_3$ (WO$_3$ : Au) до и после напыления на их поверхность дисперсного слоя Au. Установлено, что в слоях WO$_3$ : Au появляется фаза $\gamma$-WO$_{2.72}$ и существенно увеличивается проводимость пленок. Напыление дисперсного слоя золота способствует возрастанию отклика сенсоров на воздействие NO$_2$ в несколько раз. В предположении о наличии в пленках мостиков проводимости между кристаллитами WO$_3$ получены аналитические выражения для концентрационных и временных зависимостей отклика сенсоров при воздействии диоксида азота. Анализ экспериментальных данных с помощью этих выражений позволил определить значения энергий активации процессов адсорбции и десорбции молекул NO$_2$ на поверхность WO$_3$ : Au, а также теплоту адсорбции.

Поступила в редакцию: 28.05.2009
Принята в печать: 08.07.2009