Аннотация:
Исследованы люминесцентные и структурные характеристики пористого кремния, сформированного методом химического травления. На основе анализа температурных зависимостей спектров люминесценции показано, что полоса люминесценции образцов пористого кремния, полученных химическим травлением, является суперпозицей двух полос. Сделан вывод, что одна из этих полос обусловлена рекомбинацией экситонов в аморфных кремниевых нанокластерах размерами меньше 3 нм, а другая – рекомбинацией носителей через дефекты в окисле. Последняя при комнатной температуре является доминирующей.
Поступила в редакцию: 12.03.2009 Принята в печать: 09.04.2009