Аннотация:
Обсуждаются естественные неоднородности потенциала на поверхности легированного полупроводника при формировании равновесного диффузионного распределения электроактивной примеси в слоях пространственного заряда. Определены характерные значения случайного потенциала в случае невырожденного поверхностного электронного газа. Показана зависимость данных неоднородностей от параметров поверхности и объема.
Поступила в редакцию: 19.05.2009 Принята в печать: 28.05.2009