Эта публикация цитируется в 1 статье

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Комплексное исследование условий получения гидрированных аморфных пленок субоксида кремния, легированного эрбием и кислородом, $a$-SiO$_x$:H$\langle$Er,O$\rangle$, с помощью dc-магнетрона

Ю. К. Ундалов^a, Е. И. Теруков^a, О. Б. Гусев^a, В. М. Лебедев^b, И. Н. Трапезникова<sup>a

a</sup> Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
^b Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"

Аннотация: Приведены результаты комплексного исследования условий получения пленок $a$-SiO$_x$:H$\langle$Er,O$\rangle$. Изучено влияние состава различных эрбийсодержащих мишененй ($a$-SiO$_x$:H$\langle$Er,O$\rangle$, ErO$_x$, Er$_2$SiO$_5$, Er$_2$O$_3$ и Er), температуры подложки и температуры отжига в аргоне, на воздухе и в условиях горения SiH$_4$+Ar+O$_2$-плазмы. С целью получения пленок $a$-SiO$_x$:H$\langle$Er,O$\rangle$ с наибольшей интенсивностью фотолюминесценции ионов эрбия рекомендовано использовать следующие технологические условия: подложкодержатель должен быть изолирован от электродов dc-магнетрона, состав рабочей газовой смеси должен включать силан, аргон и кислород. В качестве мишеней следует использовать монокристаллический кремний и металлический эрбий. Эрбиевая мишень должна находиться только в зоне эрозии Si-мишени.

Поступила в редакцию: 19.05.2011
Принята в печать: 30.05.2011

 Англоязычная версия: Semiconductors, 2011, 45:12, 1604–1616

Реферативные базы данных:

•