Эта публикация цитируется в 14 статьях

Поверхность, границы раздела, тонкие пленки

Модификация электрических и оптических свойств пленок ZnO под действием ультрафиолетового излучения

А. Н. Грузинцев, В. Т. Волков

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 142432 Черноголовка Россия

Аннотация: Исследовано влияние ультрафиолетового облучения поликристаллических пленок оксида цинка (толщина 200 нм) на их электрическое сопротивление, прозрачность и люминесценцию в видимой и фиолетовой области спектра. Показано, что проводимость, прозрачность и краевая люминесценция пленок увеличиваются при облучении на воздухе и в вакууме с характерными временами порядка 100 мин. Установлена обратимость данных процессов, обусловленных десорбцией атомов и молекул кислорода с поверхности нанокристаллов пленки ZnO.

Поступила в редакцию: 12.04.2011
Принята в печать: 18.04.2011

 Англоязычная версия: Semiconductors, 2011, 45:11, 1420–1424

Реферативные базы данных:

•