Эта публикация цитируется в 21 статьях

Поверхность, границы раздела, тонкие пленки

Влияние примеси Sn на оптические и структурные свойства тонких кремниевых пленок

В. В. Войтович^a, В. Б. Неймаш^a, Н. Н. Красько^a, А. Г. Колосюк^a, В. Ю. Поварчук^a, Р. М. Руденко^b, В. А. Макара^b, Р. В. Петруня^b, В. О. Юхимчук^c, В. В. Стрельчук<sup>c

a</sup> Институт физики НАН Украины, г. Киев
^b Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, физический факультет
^c Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева НАН Украины, г. Киев

Аннотация: Исследовано влияние примеси олова на структуру и оптические свойства тонкопленочного аморфного кремния. Установлено, что примесь олова ускоряет процесс кристаллизации аморфного кремния. Уже непосредственно после осаждения пленки на подложку ($\sim$300$^\circ$C) в образцах с оловом присутствует кристаллическая фаза кремния. Высоковакуумный отжиг (350–750$^\circ$C) приводит к росту кристаллической фазы в пленках с оловом (размер нанокристаллов возрастает от $\sim$3.0 до 4.5 нм). В то же время в пленках без олова происходит лишь увеличение степени ближнего порядка. Кремниевая пленка без олова остается аморфной во всем интервале температур отжига.

Поступила в редакцию: 31.01.2011
Принята в печать: 16.03.2011

 Англоязычная версия: Semiconductors, 2011, 45:10, 1281–1285

Реферативные базы данных:

•