Аннотация:
С использованием методики TLM (transmission line model) с радиальной и прямоугольной геометрией контактных площадок исследованы контактные системы Cr–Au, Cr–Au–Ag–Au, Ti–Pt–Au, Pt–Ti–Pt–Au, Pt–Au, Ti–Au, Ti–Pt–Ag, Ti–Pt–Ag–Au, Pt–Ag, осажденные на поверхность $p$-GaSb методами магнетронного распыления и резистивного испарения. Установлено, что контактные системы Ti–Pt–Ag–Au и Ti–Pt–Ag характеризуются наиболее низкими значениями удельного переходного контактного сопротивления ($\rho_c\le$ 10$^{-6}$ Ом $\cdot$ см$^2$), что позволяет использовать их для создания фотоэлектрических преобразователей, генерирующих фототоки до 15 А/см$^2$.
Поступила в редакцию: 14.02.2011 Принята в печать: 21.02.2011