Применение фотоэлектрической спектроскопии для оценки качества полупроводниковых материалов (обзор)

Л. В. Берман, Ш. М. Коган


Аннотация: Указаны возможные применения фотоэлектрической спектроскопии для оценки чистоты полупроводниковых материалов, степени компенсации примесей в них, однородности распределения примесей и других характеристик, определяющих качество материала.