Аннотация:
Реализованы матрицы вертикально-излучающих лазеров с индивидуальной адресацией элементов и выводом излучения через подложку арсенида галлия. Индивидуальные лазерные излучатели с диаметром токовой апертуры 6–7 мкм демонстрируют лазерную генерацию на длине волны 958–962 нм в непрерывном режиме при комнатной температуре с пороговыми токами 1.1–1.3 мА, дифференциальной эффективностью 0.5–0.8 мВт/мА и максимальной выходной мощностью 7.5–9 мВт. Разброс параметров индивидуальных излучателей в пределах матричного кристалла, содержащего 5 $\times$ 7 элементов, не превышает $\pm$ 20%.
Поступила в редакцию: 20.12.2010 Принята в печать: 27.12.2010