Эта публикация цитируется в 19 статьях

Спектроскопия, взаимодействие с излучениями

Эволюция оптических свойств при отжиге многослойной нанопериодической системы SiO$_x$/ZrO$_2$, содержащей нанокластеры кремния

А. В. Ершов, Д. И. Тетельбаум, И. А. Чугров, А. И. Машин, А. Н. Михайлов, А. В. Нежданов, А. А. Ершов, И. А. Карабанова

Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 603950 Нижний Новгород, Россия

Аннотация: Исследованы спектры фотолюминесценции, инфракрасного поглощения и комбинационного рассеяния света многослойных нанопериодических аморфных структур $a$-SiO$_x$/ZrO$_2$, полученных испарением в вакууме и затем отожженных при различных температурах 500–1100$^\circ$C. Установлено, что эволюция оптических свойств по мере роста температуры отжига определяется трансформацией нанокластеров кремния, содержащихся в слоях SiO$_x$ в последовательности: нефазовые включения – аморфные кластеры – нанокристаллы, при наличии ограничения размеров последних толщиной исходных слоев SiO$_x$ и химических реакций с ZrO$_2$.

Поступила в редакцию: 22.11.2010
Принята в печать: 29.11.2010

 Англоязычная версия: Semiconductors, 2011, 45:6, 731–737

Реферативные базы данных:

•