Аннотация:
Обобщены результаты серии исследований по созданию эпитаксиально-интегрированных гетероструктур InGaAs/AlGaAs и AlGaAs/AlGaAs с несколькими излучающими областями и изучению свойств лазерных диодов на их основе, работающих в спектральных диапазонах $\lambda$ = 800–810, 890–910 и 1040–1060 нм. Продемонстрировано, что предложенный подход по интеграции отдельных лазерных структур методом МОС-гидридной эпитаксии успешно работает при создании лазерных диодов широкого спектрального диапазона на основе различных типов гетероструктур. Он позволил эффективно увеличить выходную мощность лазерных диодов практически без изменения их массогабаритных характеристик. Описаны основные достоинства данного подхода, а также его ограничения. Эпитаксиальная интеграция двух лазерных гетероструктур позволила увеличить дифференциальную квантовую эффективность в 1.7–2.0 раза, а интеграция трех лазерных гетероструктур – в 2.5–3.0 раза.
Поступила в редакцию: 20.09.2010 Принята в печать: 28.09.2010