А. Г. Казанский, Е. И. Теруков, П. А. Форш, М. В. Хенкин, “Особенности фотоэлектрических и оптических свойств пленок аморфного гидрогенизированного кремния, полученных плазмохимическим осаждением из смеси моносилана с водородом”, Физика и техника полупроводников, 2011, том 45, выпуск 4,страницы 518

Эта публикация цитируется в 4 статьях

Аморфные, стеклообразные, органические полупроводники

Особенности фотоэлектрических и оптических свойств пленок аморфного гидрогенизированного кремния, полученных плазмохимическим осаждением из смеси моносилана с водородом

А. Г. Казанский^a, Е. И. Теруков^b, П. А. Форш^a, М. В. Хенкин^a

^a Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
^b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Исследованы фотоэлектрические и оптические свойства пленок аморфного гидрогенизированного кремния, полученных плазмохимическим осаждением из смеси моносилана с водородом при относительной доли водорода в газовой смеси, соответствующей условиям начала формирования нанокристаллической фазы в структуре получаемых пленок. Получен необычный для пленок аморфного гидрогенизированного кремния характер поведения фотопроводимости и спектральной зависимости коэффициента поглощения. Температурные зависимости фотопроводимости исследованных пленок зависели от энергии падающих квантов. Для энергии квантов 1.3 эВ наблюдался эффект температурного гашения фотопроводимости. Длительное освещение исследованных пленок приводило к некоторому уменьшению коэффициента поглощения в области энергий квантов 1.2–1.5 эВ. Полученные результаты объясняются возможным присутствием нанокристаллов кремния в структуре исследованных пленок и их влиянием на фотоэлектрические и оптические свойства.

Поступила в редакцию: 12.10.2010
Принята в печать: 22.10.2010