Аннотация:
Метод Берглунда для определения релаксации потенциала полупроводниковой поверхности структуры металл-диэлектрик-полупроводник при изменении напряжения на структуре справедлив только в отсутствие конвективных токов в диэлектрике. В данной работе предложен метод определения релаксации потенциала при наличии конвективных токов. Кроме того, рассматриваются токи, возникающие в структуре благодаря изменению разности контактного потенциала при вариации температуры.
Поступила в редакцию: 29.03.2010 Принята в печать: 24.06.2010