Аморфные, стеклообразные, органические полупроводники

Электрические, оптические и механические свойства аморфного гидрогенизированного углерода, полученного при различных условиях осаждения

А. А. Бабаев^a, С. Б. Султанов^a, М. Ш. Абдулвагабов^b, Е. И. Теруков<sup>c

a</sup> Институт физики им. Х. И. Амирханова ДНЦ РАН, 367003 Махачкала, Россия
^b Дагестанский государственный университет, 367025 Махачкала, Россия
^c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Исследованы энергия активации проводимости на постоянном токе, показатель преломления, микротвердость аморфных гидрогенизированных углеродных пленок $a$-C:H. Пленки были получены из метан-аргоновой смеси при различных условиях осаждения на кварцевые и кремниевые подложки: $E/p$ = 40–180 В/мПа ($E$ – напряженность электрического поля между электродами, $p$ – давление газовой смеси в камере), температура подложки $T_s$ = 50–300$^\circ$C. Эти условия осаждения позволяют получать алмазоподобные, полимероподобные, графитоподобные пленки $a$-C:H, в которых энергия активации проводимости, микротвердость и показатель преломления меняются в значительных пределах.

Поступила в редакцию: 22.04.2010
Принята в печать: 07.05.2010

 Англоязычная версия: Semiconductors, 2011, 45:1, 118–120

Реферативные базы данных:

•