Международная конференция ФизикА.СПб, 20-24 октября 2025 г., Санкт-Петербург

Хемометрический анализ функционирования тонких пленок PdO в качестве химического сенсора на озон в атмосфере воздуха

В. В. Чистяков^a, С. В. Рябцев^b, А. А. Аль-Хабиб^b, С. М. Соловьев^a, С. Ю. Турищев<sup>b

a</sup> Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
^b Воронежский государственный университет, 394018 Воронеж, Россия

Аннотация: Исследованы отклики измеренной $S$ и экстрагированной $S_{\mathrm{extr}}$ электропроводности пленок толщиной 30 нм оксида палладия (II) $p$-типа при циклической модуляции температуры $T$ в разных средах (аргон ОСЧ, воздух, воздух + озон) и изучен температурный гистерезис этих величин. Найдено, что зависимости $S_{\mathrm{extr}}$ от температуры для различных концентраций озона с хорошей точностью (adj – $R^2>$ 0.995) подчиняются формуле Йовановича. Впервые применен кондуктометрический вариант температурно-программируемой десорбции озона для полупроводникового газового сенсора (PdO). По полученным данным в этой системе специфицирован аналог уравнения Вигнера–Поляни, параметры которого могут служить вариантами мультивариантной калибровки для селективного детектирования озона.

Ключевые слова: гистерезис электропроводности, температурно-программируемая десорбция (ТПД), нелинейная регрессия, уравнение Вигнера–Поляни.

Поступила в редакцию: 05.05.2025
Исправленный вариант: 24.06.2025
Принята в печать: 18.09.2025

DOI: 10.61011/FTP.2025.07.62000.7793