Аннотация:
Проведен детальный анализ спектральных зависимостей действительной и мнимой компонент измеренного импеданса смоделированного кремниевого $p$–$n$-перехода в рамках общепринятой эквивалентной схемы (параллельная $R_dC_b$ цепочка и последовательное сопротивление $R_s$). Предложен простой способ определения истинного значения барьерной емкости структур с потенциальным барьером (при отсутствии поверхностных электрически активных состояний) на основе анализа спектральной зависимости мнимой части измеренного импеданса.
Поступила в редакцию: 11.01.2012 Принята в печать: 15.01.2012