Краткие сообщения

Диффузия в условиях лазерного отжига полупроводников

В. Н. Стрекалов

Московский станкоинструментальный институт "Станкин"

УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 04.05.1985
Принята в печать: 06.09.1985