Е. Ю. Севастьянов, Н. К. Максимова, В. А. Новиков, Ф. В. Рудов, Н. В. Сергейченко, Е. В. Черников, “Влияние добавок Pt, Pd, Au на поверхности и в объеме тонких пленок диоксида олова на электрические и газочувствительные свойства”, Физика и техника полупроводников, 2012, том 46, выпуск 6,страницы 820

Эта публикация цитируется в 30 статьях

Физика полупроводниковых приборов

Влияние добавок Pt, Pd, Au на поверхности и в объеме тонких пленок диоксида олова на электрические и газочувствительные свойства

Е. Ю. Севастьянов^a, Н. К. Максимова^a, В. А. Новиков^b, Ф. В. Рудов^b, Н. В. Сергейченко^b, Е. В. Черников^a

^a Сибирский физико-технический институт, 634050 Томск, Россия
^b Томский государственный университет, 634050 Томск, Россия

Аннотация: Исследованы микроструктура и свойства полученных магнетронным напылением на постоянном токе тонких ($\sim$100 нм) пленок SnO$_2$ с добавками благородных металлов Pt, Pd, Au. Показано, что введение добавок в объем и нанесение дисперсных катализаторов на поверхность полупроводника позволяют управлять характеристиками сенсоров в чистом воздухе и при воздействии восстановительных (CO, H$_2$, CH$_4$) и окислительного (NO$_2$) газов. Обсуждены возможные механизмы действия Pt, Pd, Au в объеме и на поверхности диоксида олова. Определены технологические условия формирования пленок, обеспечивающих селективное детектирование низких концентраций (10–100 ppm) CO и H$_2$, довзрывоопасных концентраций (0.5–2.5 об%) метана и следовых концентраций (0.05–5 ppm) NO$_2$.

Поступила в редакцию: 15.11.2011
Принята в печать: 21.11.2011