Эта публикация цитируется в 10 статьях

Аморфные, стеклообразные, органические полупроводники

Эффект фототравления в тонких слоях халькогенидных стеклообразных полупроводников

В. А. Данько, И. З. Индутный, В. И. Минько, П. Е. Шепелявый, О. В. Березнева, О. С. Литвин

Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева НАН Украины, г. Киев

Аннотация: Обнаружен эффект фотостимулированного повышения растворимости отожженных пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников в селективных травителях на основе аминов. Установлено, что скорость травления повышается при увеличении интенсивности облучения, а ее спектральная зависимость коррелирует с поглощением в пленке в области края межзонных переходов. Показано, что новый фотостимулированный эффект позволяет реализовать фотолитографический процесс (в том числе процесс интерференционной фотолитографии) на слоях халькогенидных стеклообразных полупроводников, отожженных при температуре, близкой к температуре размягчения халькогенидного стекла, путем одновременного экспонирования и селективного травления таких слоев. Обсуждается возможный механизм фототравления халькогенидных стеклообразных полупроводников.

Поступила в редакцию: 18.08.2011
Принята в печать: 12.09.2011

 Англоязычная версия: Semiconductors, 2012, 46:4, 504–508

Реферативные базы данных:

•