Аннотация:
Получена новая взаимосвязь между структурными (шероховатость и размер зерен), механическими (механическая прочность, модуль упругости) и оптическими (коэффициент поглощения) свойствами MoSiN при различной температуре термообработки. Тонкопленочные слои MoSiN были получены методом магнетронного распыления в среде газов азота и аргона. В ходе эксперимента была изготовлена круглая мембранная структура MoSiN по групповой технологии. Посредством атомно-силового микроскопа была определена шероховатость исходной пленки – 1.5 $\pm$ 0.1 нм. С использованием программы ImageJ и РЭМ-изображений рассчитан средний размер исходных зерен MoSiN – 22 нм. Модуль Юнга материала MoSiN составил 96 ГПа. С помощью стенда по исследованию механических свойств было определено критическое давление 0.05 $\pm$ 0.003 ГПа для 10 образцов. Проведен расчет величины механической прочности структуры MoSiN, которая составила 1.15 ГПа. Величина коэффициента поглощения изменяется в значительно меньшей степени на диапазоне длин волн от 400 до 900 нм. Для изучения возможного изменения свойств материала в процессе операции фотолитографии проведена имитация процесса в виде дополнительной термической обработки MoSiN.
Полный текст:
PDF файл (1215 kB)