Эта публикация цитируется в 7 статьях

Неэлектронные свойства полупроводников (атомная структура, диффузия)

Установление степени упорядочения структуры материалов на основе расчета информационно-корреляционных характеристик

С. П. Вихров, Т. Г. Авачева, Н. В. Бодягин, Н. В. Гришанкина, А. П. Авачев

Рязанский государственный радиотехнический университет, 390005 Рязань, Россия

Аннотация: Описан новый метод анализа процессов самоорганизации в твердотельных материалах путем расчета корреляционно-информационных характеристик поверхности, в частности, средней взаимной информации. Предложены критерии определения степени упорядочения структуры поверхности, которые апробированы на экспериментальных полупроводниковых структурах моно-, поли- и аморфного кремния. Установлены зависимости информационных характеристик пленок неупорядоченных полупроводников от технологических режимов получения.

Поступила в редакцию: 22.09.2011
Принята в печать: 23.09.2011

 Англоязычная версия: Semiconductors, 2012, 46:4, 415–421

Реферативные базы данных:

•