Аннотация:
Сообщается о способе создания двумерных периодических структур методом контактной оптической фотолитографии с использованием технологии инвертирования изображения. Рассмотрены оптические свойства полученных фотонных кристаллов и брэгговских решеток для излучателей среднего инфракрасного и терагерцового диапазонов спектра. Показана возможность увеличения интегральной мощности излучения светодиодов среднего инфракрасного диапазона. Определены требования к решеткам для вывода терагерцового излучения, обусловленного поверхностными плазмонами, возбуждаемыми в слоях узкозонных вырожденных полупроводников, обладающих аккумуляционным слоем.
Поступила в редакцию: 22.04.2013 Принята в печать: 30.04.2013