RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 2013, том 47, выпуск 8, страницы 1144–1148 (Mi phts8000)

Эта публикация цитируется в 13 статьях

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Влияние отжига на время жизни неравновесных носителей заряда в GaAs, выращенном при низкой температуре

А. А. Пасторa, У. В. Прохороваa, П. Ю. Сердобинцевab, В. В. Чалдышевc, М. А. Яговкинаc

a Санкт-Петербургский государственный университет
b Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, 195251 Санкт-Петербург, Россия
c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Исследовались образцы GaAs, выращенные методом молекулярно-лучевой эпитаксии при низкой температуре (230$^\circ$C). Часть образцов была дополнительно подвергнута послеростовому отжигу при 600$^\circ$C. С помощью оригинальной схемы измерения динамического изменения коэффициента преломления света, основанной на методике накачки–зондирования (pump-probe), было определено время жизни неравновесных носителей заряда, которое до отжига оказалось равным (275 $\pm$ 30) фс. Причиной весьма малого времени жизни в неотожженном материале является большая концентрация точечных дефектов, преимущественно антиструктурных дефектов AsGa. Исследования рентгеновской дифракции и стационарного оптического поглощения показали, что в данных образцах концентрация AsGa составляет 3 $\cdot$ 10$^{19}$ см$^{-3}$, что соответствует избытку мышьяка 0.26 ат%. В процессе отжига при 600$^\circ$C сверхстехиометрические дефекты As самоорганизуются и формируют нановключения As в кристаллической матрице GaAs. Показано, что при этом время жизни неравновесных носителей заряда увеличивается до (452 $\pm$ 5) фс. Такое время жизни, по-видимому, преимущественно обеспечивается захватом неравновесных носителей заряда на металлические нановключения As.

Поступила в редакцию: 28.01.2013
Принята в печать: 04.02.2013


 Англоязычная версия: Semiconductors, 2013, 47:8, 1137–1140

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2026