Эта публикация цитируется в 1 статье

Поверхность, границы раздела, тонкие пленки

Топологический размерный эффект в кластерных пленках диоксида олова, полученных методом реактивного распыления

Л. С. Максименко, И. Е. Матяш, О. Н. Мищук, С. П. Руденко, Б. К. Сердега

Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева НАН Украины, г. Киев

Аннотация: В наноразмерных пленках диоксида олова, полученных методом реактивного распыления, исследованы оптические свойства методом внутреннего отражения и техникой модуляционной поляриметрии. Измерены угловые и спектральные характеристики коэффициентов отражения линейно поляризованных излучений $R_s^2$ и $R_p^2$, в которых электрическое поле волны перпендикулярно и параллельно плоскости падения, а также характеристики их физической разности $\rho = R_s^2 - R_p^2$. Из результатов измерения следует: наличие конечной проводимости пленки за счет легирования приводит к проявлению в них поверхностного плазмонного резонанса; форма спектральных и угловых характеристик параметра $\rho$ свидетельствует о кластерной структуре пленки, что согласуется с фазовой топологией по методу атомно-силовой микроскопии; несферическая форма кластеров приводит к расщеплению резонансов и к зависимости их параметров от угла падения, что определяет топологический размерный эффект.

Поступила в редакцию: 27.08.2012
Принята в печать: 12.09.2012

 Англоязычная версия: Semiconductors, 2013, 47:7, 925–929

Реферативные базы данных:

•