Эта публикация цитируется в 7 статьях

Изготовление, обработка, тестирование материалов и структур

Влияние ионной обработки на свойства пленок In$_2$O$_3$ : Sn

П. Н. Крылов^a, Р. М. Закирова^a, И. В. Федотова^a, Ф. З. Гильмутдинов<sup>b

a</sup> Удмуртский государственный университет, г. Ижевск
^b Физико-технический институт Уральского отделения Российской академии наук, 426000 Ижевск, Россия

Аннотация: Представлено изменение свойств пленок ITO, полученных методом реактивного ВЧ магнетронного напыления с одновременной ионной обработкой в зависимости от тока ионной обработки и температуры подложки. Ионная обработка растущей пленки в процессе напыления незначительно меняет относительное количество олова и индия, но существенно увеличивает электропроводность. Пленки, полученные при температуре ниже 50$^\circ$C без ионной обработки, являются рентгеноаморфными. Ионная обработка и увеличение температуры конденсации приводят к кристаллизации пленок и сдвигу края оптического поглощения в сторону коротких длин волн. Увеличение тока ионной обработки вызывает появление текстуры.

Поступила в редакцию: 01.08.2012
Принята в печать: 28.08.2012

 Англоязычная версия: Semiconductors, 2013, 47:6, 870–874

Реферативные базы данных:

•