Влияние термообработки на перестройку кислородосодержащих дефектов в кремнии

Ю. Н. Далуда, В. В. Емцев, П. Д. Кервалишвили, В. И. Петров, К. Шмальц


Аннотация: Исследовалось влияние предварительной термообработки при ${T\gtrsim600^{\circ}}$С на процесс формирования термодоноров при 450$^{\circ}$С, а также на состояние кислорода в ассоциированной форме. Показано, что наибольшая чувствительность этих процессов к предварительной термообработке оказывается в интервале температур 600$-$700$^{\circ}$С (в зависимости от концентрации растворенного кислорода).