Эта публикация цитируется в 13 статьях

IX международная конференция "КРЕМНИЙ-2012" , Санкт-Петербург, 9-13 июля 2012 г.

Идентификация медных и медь–водородных комплексов в кремнии

Н. А. Ярыкин^a, J. Weber<sup>b

a</sup> Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 142432 Черноголовка, Россия
^b Technische Universität Dresden, 01062 Dresden, Germany

Аннотация: Методом нестационарной спектроскопии глубоких уровней в работе изучаются центры, которые формируются в кремнии в результате взаимодействия между примесью меди в положении замещения Cu$_s$ и подвижными вблизи комнатных температур частицами: межузельными атомами меди Cu$_i$ или водорода H. Установлено, что известный фотолюминесцентный центр, включающий четыре атома меди, образуется на основе атома меди в положении замещения путем последовательного присоединения Cu$_i$. Оба промежуточных комплекса (Cu$_s$–Cu$_i$ и Cu$_s$–2Cu$_i$) идентифицированы по их глубоким уровням в нижней половине запрещенной зоны. Обнаружено, что Cus образует комплексы с одним, двумя, и тремя атомами водорода, причем Cu$_s$–H и Cu$_s$–2H являются электрически активными. Отмечается, что присоединение водорода или меди сходным образом влияет на структуру глубоких уровней Cu$_s$.

Поступила в редакцию: 17.07.2012
Принята в печать: 17.07.2012

 Англоязычная версия: Semiconductors, 2013, 47:2, 275–278

Реферативные базы данных:

•