Эта публикация цитируется в 6 статьях

IX международная конференция "КРЕМНИЙ-2012" , Санкт-Петербург, 9-13 июля 2012 г.

Влияние примесей металлов на рекомбинационную активность дислокаций в мультикристаллическом кремнии

О. В. Феклисова^a, X. Yu^b, D. Yang^b, Е. Б. Якимов<sup>a

a</sup> Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
^b Государственная ключевая лаборатория кремниевых материалов, Чжэцзянский университет, 310027 Ханьжоу, Китай

Аннотация: Методом наведенного тока исследовано влияние атомов железа, меди и никеля, введенных при высокотемпературной диффузии, на рекомбинационные свойства дислокаций в мультикристаллическом кремнии. Показано, что влияние всех трех примесей качественно одинаково. Рекомбинационная активность дислокаций остается ниже предела обнаружения в режиме наведенного тока как в исходных образцах, так и после диффузии переходных металлов. Такое поведение дислокаций объясняется в предположении, что дислокации уже в исходных образцах насыщены примесями.

Поступила в редакцию: 17.07.2012
Принята в печать: 20.07.2012

 Англоязычная версия: Semiconductors, 2013, 47:2, 232–234

Реферативные базы данных:

•