Аннотация:
Исследованы спектральные характеристики фотоответа гетероструктур со слоями плотноупакованных аморфных наночастиц кремния, полученных методом лазерного электродиспергирования. Структуры характеризуются выпрямляющими свойствами. Отжиг на воздухе приводит к появлению в слоях наночастиц оксида кремния, кроме того, происходит частичная кристаллизация наночастиц. Спектральные характеристики фотоответа гетероструктур обладают рядом особенностей. По сравнению со стандартными кремниевыми фотодиодами спектр чувствительности исследованных структур сдвинут в коротковолновую область, причем сдвиг увеличивается после отжига. Структуры с отожженным слоем наночастиц обладают чувствительностью в области 350–600 нм, более чем на порядок превышающей чувствительность неотожженных структур. Этот эффект может быть связан с транзисторным усилением в структуре.
Поступила в редакцию: 10.06.2014 Принята в печать: 18.06.2014