Аннотация:
Разработана количественная модель поведения МОП структур при ионизирующем облучении, базирующаяся на захвате дырок водородосодержащими ловушками. Часть довушек заряжается, образуя положительный объемный заряд в диэлектрике. Другая часть распадается с освобождением положительных ионов водорода, которые мигрируют в электрическом поле диэлектрика к межфазной границе с полупроводиником, где приводят к депассивации поверхностных состояний. Учитывается заряжение поверхностных состояний как в процессе облучения, так и при измерении порогового напряжения.
Поступила в редакцию: 19.07.2013 Принята в печать: 20.08.2013