Аннотация:
Впервые изготовлены МОП диоды In/TiO$_2$/$p$-CdTe с помощью дешевого метода спрей-пиролиза, которые имели коэффициент выпрямления $K$ = 6 $\cdot$ 10$^3$ при внешнем смещении 2 В. Установлено, что доминирующим механизмом токопереноса в исследуемых МОП структурах при прямом и обратном напряжениях выступают туннельно-рекомбинационные процессы при участии энергетических уровней с глубиной залегания 0.25 эВ. Особенности вольт-фарадных характеристик МОП диодов In/TiO$_2$/$p$-CdTe свидетельствуют о резком уменьшении сопротивления высокоомного слоя TiО$_2$ при прямом смещении, что обусловлено соотношением энергетических параметров компонентов исследуемой МОП структуры.
Поступила в редакцию: 21.03.2013 Принята в печать: 01.04.2013