RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика и техника полупроводников // Архив

Физика и техника полупроводников, 1987, том 21, выпуск 6, страницы 1101–1105 (Mi phts754)

Катодолюминесценция радиационных дефектов в кубическом нитриде бора

А. М. Зайцев, А. А. Мельников, В. Ф. Стельмах


Аннотация: Методом катодолюминесценции обнаружены и исследованы радиационные дефекты РК-1, РК-2, РК-3 в ионно-имплантированном монокристаллическом кубическом нитриде бора. В интервале температур ${650\div700^{\circ}}$С происходит отжиг этих дефектов, активированный, вероятно, движением междоузельных атомов азота. Показано, что центры РК являются собственными первичными дефектами вакансионного типа. На основании модели температурной «мягкости», анализа электрон-фононного взаимодействия и сравнения с аналогичными центрами в алмазе сделан вывод о включении в состав соответствующих дефектов вакансий азота.



© МИАН, 2026