И. П. Смирнова, Л. К. Марков, А. С. Павлюченко, М. В. Кукушкин, С. И. Павлов, “Оптимизация технологии нанесения тонких пленок ITO, применяемых в качестве прозрачных проводящих контактов светодиодов синего и ближнего ультрафиолетового диапазонов”, Физика и техника полупроводников, 2014, том 48, выпуск 1,страницы 61

Эта публикация цитируется в 8 статьях

Физика полупроводниковых приборов

Оптимизация технологии нанесения тонких пленок ITO, применяемых в качестве прозрачных проводящих контактов светодиодов синего и ближнего ультрафиолетового диапазонов

И. П. Смирнова^ab, Л. К. Марков^ab, А. С. Павлюченко^ab, М. В. Кукушкин^bc, С. И. Павлов^a

^a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
^b НТЦ микроэлектроники Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
^c ЗАО "Инновационная фирма "ТЕТИС"", 194156 Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Исследованы структурные, оптические и электрические свойства пленок оксида индия и олова (ITO), полученных электронно-лучевым испарением, магнетронным напылением и комбинированным способом. Показано, что, несмотря на высокую прозрачность электронно-лучевых пленок ITO в видимом диапазоне, их проводимость и показатель преломления заметно ниже аналогичных параметров для пленок ITO, полученных методом магнетронного напыления. Разработана технология создания двухслойных систем способом, комбинирующим эти два метода нанесения. В результате получены пленки, которые обладают преимуществами магнетронных слоев и могут быть применены в качестве контактных слоев к области $p$-GaN в светодиодах синего и ближнего ультрафиолетового диапазонов.

Поступила в редакцию: 28.05.2013
Принята в печать: 04.06.2013